电化学(中英文) ›› 2006, Vol. 12 ›› Issue (4): 429-433. doi: 10.61558/2993-074X.1767
张维;肖江群;周勇亮;
ZHANG Wei,XIAO Jiang-qun,ZHOU Yong-liang~*
摘要: 微电极的制作是微流控芯片电化学检测的关键技术.本文提出CO2激光烧蚀结合化学腐蚀快速制作微流控芯片阵列微电极的方法.在溅射Au/Cr的玻璃基片上涂敷指甲油作牺牲层,利用CO2激光烧蚀开窗口,经化学腐蚀后获得阵列电极,电极宽度为100μm.考察了激光加工参数及牺牲层对电极加工质量的影响,对由键合包封制作的微流控芯片,循环伏安及流动注射分析测试表明,该电极芯片可用于微流控芯片的安培检测.
中图分类号: