电化学(中英文) ›› 2022, Vol. 28 ›› Issue (6): 2104491. doi: 10.13208/j.electrochem.210449
杨凯1, 陈际达1,*(), 陈世金2, 许伟廉2, 郭茂桂2, 廖金超2, 吴熷坤2
Kai Yang1, Ji-Da Chen1,*(), Shi-Jin Chen2, Wei-Lian Xu2, Mao-Gui Guo2, Jin-Chao Liao2, Zeng-Kun Wu2
摘要:
本文采用毒性小,价格低廉的2, 2′-二硫代二吡啶(2, 2′-Dithiodipyridine,DTDP)作为通孔电镀铜添加剂,对添加剂体系的浓度及脉冲电镀参数进行了优化。首先,对DTDP能否在高深径比通孔脉冲电镀过程中起到整平作用进行探究,并对包含其在内的四种添加剂的浓度进行正交优化,得到了当电镀效果较好时的最优添加剂浓度,但是该条件电镀后的通孔呈“狗骨状”。其次再利用正交优化后的电镀液,采用单因素分析法对脉冲电镀参数进行优化,得出此时较优的脉冲电镀参数,并消除上述通孔“狗骨”现象。在电镀试验后,通过采用扫描电子显微镜(SEM)和浸锡热应力实验对电镀后的实验板进行性能测试。