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ICP刻蚀硅模板用于PDMS规则超疏水表面的制作
张润香;张玉龙;林华水;
PDMS Regularly Superhydrophobic Surfaces Prepared by ICP Etching Silicon Model
ZHANG Run-xiang1,ZHANG Yu-long2,LIN Hua-shui1*
电化学(中英文) . 2007, (3): 264 -268 .