用规整膜板对砷化镓的三维微结构图形加工刻蚀
黄海苟, 孙建军, 叶雄英, 蒋利民, 罗瑾, 卢泽生, 董申, 田中群, 周兆英, 田昭武
Three-dimensional Microfabrication on GaAs Using a Regular Patterns Mold
HUANG Hai_gou 1, SUN Jian_jun 1, YE Xiong_ying 2, JIANG Li_min 1, LUO Jin 1, LU Ze_sheng 3, DONG Shen 3, TIAN Zhong_qun 1, ZHOU Zhao_ying 2 , TIAN Zhao_wu 1
电化学（中英文）
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2000, (3): 253
-257
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DOI: 10.61558/2993-074X.1386
