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钨的化学机械抛光过程中TiN-W电偶的腐蚀行为(英文)
程璇,林昌健
Galvanic Corrosion of TiN-W Electro-couple During Tungsten Chemical Mechanical Polishing
CHENG Xuan 1,* , LIN Chang_Jian 2
电化学（中英文） . 2001, (2): 189 -194 . 

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