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旋转对流下铜在微沟道中的电沉积
孙建军,谢步高,阴文辉,陈国南
Electrodeposition of Copper into Trenches Under Rotating Hydrodynamic Condition
SUN Jian-jun~
电化学（中英文） . 2004, (2): 210 -214 . 

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