用规整膜板对砷化镓的三维微结构图形加工刻蚀
收稿日期: 2000-08-28
修回日期: 2000-08-28
网络出版日期: 2000-08-28
Three-dimensional Microfabrication on GaAs Using a Regular Patterns Mold
Received date: 2000-08-28
Revised date: 2000-08-28
Online published: 2000-08-28
黄海苟 , 孙建军 , 叶雄英 , 蒋利民 , 罗瑾 , 卢泽生 . 用规整膜板对砷化镓的三维微结构图形加工刻蚀[J]. 电化学, 2000 , 6(3) : 253 -257 . DOI: 10.61558/2993-074X.1386
/
| 〈 |
|
〉 |
