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研究论文

微系统科技的发展及电化学的新应用

  • 田昭武 ,
  • 林华水 ,
  • 孙建军 ,
  • 周勇亮 ,
  • 祖延斌 ,
  • 田中群
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  • 厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室!福建厦门361005,厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室!福建厦门361005,厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室!福建厦门361005,厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室!福建厦门361005,厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室!

收稿日期: 2001-02-28

  修回日期: 2001-02-28

  网络出版日期: 2001-02-28

The Development of Microsystems and New Applications of Electrochemistry

  • TIAN Zhao wu  ,
  • LIN Hua_shui ,
  • SUN Jian_jun ,
  • ZHOU Yong_liang ,
  • ZU Yan_bin ,
  • TIAN Zhong_qun
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  • (State Key Lab. for Phys. Chem. of Solid Surface, Dept. Chem. Xiamen Univ., X

Received date: 2001-02-28

  Revised date: 2001-02-28

  Online published: 2001-02-28

摘要

本文根据田昭武在中国化学会第一届全国纳米技术与应用会议 (2 0 0 0 .11.2 8,厦门 )特邀大会报告内容整理而成 :1 微系统技术概述 (技术的必要性和前景 )2 发展微系统技术的特殊困难3 电化学在微系统技术中的应用  3.1 用于复杂 3D 图形微加工的约束刻蚀剂层技术 (CELT)  3.2 聚焦电泳和微系统在 (生物 )化学中的应用 (μ TAS或芯片上实验室 )  3.3 芯片实验室中微流体输运网络的合理选择之一 -灵巧 (Smart)电渗泵4 结论

本文引用格式

田昭武 , 林华水 , 孙建军 , 周勇亮 , 祖延斌 , 田中群 . 微系统科技的发展及电化学的新应用[J]. 电化学, 2001 , 7(1) : 1 -9 . DOI: 10.61558/2993-074X.1410

Abstract

Brief introduction to microsystems 2 Discussions on the developments of microsystem technologies 3 Applications of electrochemistry in microsystem 3.1 Confined Etchant Layer Technique (CELT) for the complex 3D-pattern micromachining 3.2 Focusing Electrophoresis and the application of microsystem in (bio) chemistry (μTAS or Lab on A Chip) 3.3 Smart Electro-Osmosis pump——a reasonable choosing for microfluidic network 4 Concluding remark

参考文献

[1] TianZW ,FengZD ,TianZQ ,etal.Confinedetchanntlayertechniquefortwo dimensionallithographyathighresolutionusingelectrochemicalscanningtunnelingmicroscope[J].FaradayDiscuss,1992 ,94 :37. [2 ] TianZW ,TianZQ ,LinZH .XieZX .Micro (nano )fabricationtechniqueforthreedimensionalcomplexpatterns—theircommondifficultiesandsolution[J].ChineseJournalofScientificInstrument ,1996 ,17(1) :14 [3] HuangHai gou ,sinJian jun .,TianZhao wuetal.ThreedimensionalmicrofabricationonGaAsusingaregu larpatternsmold[J].Electrochemistry(inChinese) ,2 0 0 0 ,3:2 53. [4 ] ZuYB ,XieL ,MaoBW ,TianZW .Studiesonsiliconetchingusingtheconfinedetchantlayertechnique[J].ElectrochimicaActa ,1998,4 3:16 83. [5] ChenDong yung ,LinHuashui,TianZhao wuetal.ANovelfocusingelectro phoresistechniquebasedonthemobilitydifferences [J].Electrochemistry(inChinese) ,1997,2 :139.
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